10月21日上午11點，臺積電南科再生水廠遭受火災事故，據當地居民稱，臺積電廠區周邊四處瀰漫濃煙，並有大量明火出現。目前，臺積電遇火廠區已經緊急驅散駐廠員工達270餘人。

由於災情控制得當，臺積電聲稱火災未造成人員傷亡，最初被困的兩名工人也被安全救出。至於起火原因，臺積電稱根據初步調查，疑似有工人在進行焊接時引燃了附近的塑料發泡建築材料燃泡棉，但具體的事故原因目前仍在調查當中。

至於大量媒體猜測的芯片生產是否受到影響，臺積電給出了否定的答案。臺積電表示，臺南市南科再生水廠主要是日常向臺積電生產工廠提供再生水，而且目前工廠建造工程纔剛剛完成，目前尚未正式投入供水使用，所以未影響到芯片生產加工。

值得一提的是，就在今年2月份，再生水廠在施工過程中，發生過建築工人從高處墜落8米深水槽死亡的意外事件，這家工廠在當時也被列爲高風險工地。