本報記者  趙覺珵  褚大業    

在全球半導體行業的火熱競爭中，總部位於荷蘭的半導體供應商阿斯麥（ASML）時常被置於聚光燈下。作爲全球最大的光刻機制造商以及唯一能夠供應7納米及以下先進製程所需的EUV（極紫外線）光刻機廠商，阿斯麥如何在複雜多變的國際環境下保持同中國的聯繫與合作備受關注。

在5日於上海開幕的第六屆中國國際進口博覽會上，阿斯麥再次參展。阿斯麥全球高級副總裁、中國區總裁沈波在接受《環球時報》記者專訪時表示，阿斯麥始終重視中國市場，預計今年中國業務將佔阿斯麥全球業務的20%以上。沈波同時強調，阿斯麥支持開放合作，因爲光刻機的成功與整個半導體產業鏈的高度合作密不可分。

第五次參展進博會

今年是阿斯麥第五次參展進博會。一般來說，企業連續亮相進博會代表其對中國市場的看重，沈波也在採訪中多次強調這一點。沈波對《環球時報》記者表示，藉助本屆進博會的平臺，阿斯麥希望能使更多觀衆瞭解阿斯麥的全景光刻解決方案，與更多行業內外的夥伴進行交流。

成立於1984年的阿斯麥在1988年首次向中國交付光刻機。截至目前，阿斯麥在中國的光刻機和量測的機臺裝機量近1400臺。此外，阿斯麥還在中國大陸設有16個辦事處、12個倉儲物流中心和3個致力於計算光刻以及電子束量測的開發中心。沈波對《環球時報》記者表示，在中國，阿斯麥爲客戶提供全景光刻解決方案，其中不僅有光刻機臺，還包括計算光刻以及光學和電子束量測。今年6月，阿斯麥中國團隊開發的貼合本土客戶需求的計算光刻軟件產品正式發佈。

除提供銷售及相關的維護以外，阿斯麥還和客戶一起優化工藝流程，根據客戶的工藝需求對全景光刻解決方案下的光刻機臺、計算光刻、量測的協調和配合等進行鍼對性的調整。目前，阿斯麥在中國大陸的員工總人數已超過1600人，其中包括800多名客戶服務工程師。沈波說，未來公司將繼續發展人才隊伍，更好地支持中國客戶發展。

中國業務佔比今年將超20%

根據阿斯麥於上月18日發佈的最新財報，該公司預計今年中國業務在全球業務中的比重將超過20%。今年三季度，中國市場銷售額佔比高達46%，高於前兩個季度的24%和8%。

沈波對《環球時報》記者分析稱，中國市場在三季度的增長主要由於兩方面原因：首先，發運到中國的設備主要針對成熟製程客戶，本季度的大部分出貨是基於2022年甚至更早的訂單；其次，其他客戶的需求時間節點發生了變化，這使阿斯麥能夠向中國客戶交付更多設備。

“我們所有的設備發運都符合出口管制規定。”沈波強調。公開資料顯示，2019年以來，阿斯麥的EUV光刻機對華出口已受到限制，這一系統可以支持3納米芯片製造，如蘋果的A17 Pro芯片。今年9月起，荷蘭政府關於半導體設備的出口管制新規正式生效，阿斯麥部分先進的浸潤式DUV（深紫外線）光刻機出口需申請許可證。不過，阿斯麥日前表示，荷蘭政府已允許該公司在今年繼續發運前述被列入出口管制新規的光刻機。

上月17日，美國商務部工業與安全局（BIS）發佈多項規則，更新並擴大了2022年10月7日發佈的對先進半導體及其製造設備實施的一系列嚴格的出口管制措施。阿斯麥此前在一份聲明中表示，“根據目前收到的信息，我們認爲適用該新規的涉及先進芯片製造的中國大陸晶圓廠數量有限。”

沈波對《環球時報》記者表示，中國政府對半導體產業的大力支持和終端市場的增長，爲中國半導體市場持續發展注入着源源不斷的動力，其中成熟製程市場發展尤爲突出。此外，中國本土品牌已在消費電子、個人電腦和服務器、電動汽車、新能源等重要的半導體終端市場領域佔據了相當大的份額，這也爲中國成熟製程市場的可持續發展奠定了基礎。

“2025年是重要的增長年份”

光刻機是一種極其複雜的機器，集電子、電氣、光學、機械、物理、計算、材料等衆多學科爲一體。在此前一段時間中，光刻機並不爲大衆所熟知，但重要性卻在一系列事件中被反覆強調。有機構統計稱，阿斯麥佔據全球光刻機市場份額的約60%，並且是唯一能夠生產EUV光刻機的企業。

沈波告訴《環球時報》記者，光刻機內部構造複雜，由大量零部件組成，需要來自全球的供應鏈夥伴提供。而阿斯麥能夠取得成功的原因之一，就是堅持開放式創新，得到了不同領域全球範圍內頂尖合作伙伴的持續支持，共同推動技術進步。“光刻機的成功與整個半導體產業鏈的高度合作密不可分。”

此外，沈波分享稱，阿斯麥每年均投入大量資金開展研發。2022年全年，阿斯麥研發投入超過33億歐元，約佔淨銷售的15.6%。2023年的研發投入預計將達到銷售額的20%左右。

在採訪中，沈波分享了阿斯麥對於全球半導體市場走向的預期。他認爲，全行業都期待能在今年年底看到拐點，但2024年的復甦態勢尚不明朗。他堅信“2025年是重要的增長年份”。

近期全球半導體市場處於下行週期。據國際半導體產業協會（SEMI）預測，受終端需求疲軟影響，今年全球半導體制造設備銷售額可能下滑至874億美元，同比減少18.6%。SEMI同時預測，儘管今年處於第二位，但到2024年，中國大陸的半導體制造設備銷售額將重返全球第一。▲